ガスバリアフィルム、並びに、これを用いた画像表示素子および有機エレクトロルミネッセンス素子

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-286166
公開番号（公開出願番号）：特開2007-090803
出願日： 2005年09月30日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：

【課題】フレキシブルかつ十分なバリア性能および耐熱性を有するガスバリアフィルム、耐久性と軽量化とを両立させた画像表示素子および有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。【解決手段】プラスチック基板上に、少なくとも一層の無機物からなるバリア層と少なくとも一層の有機層とを交互に有するガスバリアフィルムであって、前記バリア層の少なくとも一層が原子層デポジッション法(Atomic Layer Deposition:ALD法)によって形成されたことを特徴とするガスバリアフィルム。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

プラスチック基板上に、少なくとも一層の無機物からなるバリア層と少なくとも一層の有機層とを交互に有するガスバリアフィルムであって、前記バリア層の少なくとも一層が原子層デポジッション(Atomic Layer Deposition)法によって形成されたことを特徴とするガスバリアフィルム。

IPC (7件)：

B32B 9/00 , C23C 16/30 , H05B 33/02 , H01L 51/50 , C09D 183/00 , C09D 4/00 , C08J 5/18

FI (7件)：

B32B9/00 A , C23C16/30 , H05B33/02 , H05B33/14 A , C09D183/00 , C09D4/00 , C08J5/18

Fターム (57件)：

3K007AB12 , 3K007AB14 , 3K007BA07 , 3K007CA06 , 3K007DB03 , 4F071AA48 , 4F071AH19 , 4F071BC01 , 4F100AA00B , 4F100AA19 , 4F100AA20 , 4F100AA28 , 4F100AA29 , 4F100AK01A , 4F100AK01C , 4F100AK25 , 4F100AK43A , 4F100AT00A , 4F100BA03 , 4F100BA04 , 4F100BA05 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10C , 4F100CA22 , 4F100DE01 , 4F100EH46 , 4F100EH66B , 4F100EJ54 , 4F100EJ55 , 4F100GB41 , 4F100JA05A , 4F100JD02B , 4F100JG03 , 4F100JJ03 , 4F100JL00 , 4F100JL03 , 4F100YY00A , 4J038DL031 , 4J038DM021 , 4J038FA111 , 4J038FA251 , 4J038FA261 , 4J038FA281 , 4J038NA08 , 4J038PA17 , 4J038PC08 , 4K030AA09 , 4K030AA11 , 4K030AA24 , 4K030BA43 , 4K030CA07 , 4K030FA10 , 4K030HA02 , 4K030JA10 , 4K030LA01 , 4K030LA18

引用特許：

出願人引用 (6件)

特公昭53-12953号公報
特開昭58-217344号公報
米国特許第6,413,645号明細書

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