時定数測定機能を搭載した走査型電子顕微鏡

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-303067
公開番号（公開出願番号）：特開2008-123716
出願日： 2006年11月08日
公開日（公表日）： 2008年05月29日
要約：

【課題】走査型電子顕微鏡において、一次電子線や二次電子の偏向量が少なくなる最適な走査方法を決定して安定した画像を取得できるようにするものである。【解決手段】エネルギーフィルタを用いてエネルギーを弁別し、得られる電子収量の変化から試料電位の変動を測定し、電子線照射時に形成される帯電の時定数を抽出する。抽出した時定数を基に走査方法を最適化し、SEM像に現れる歪みや倍率変動を抑制する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料に一次電子線を照射し、試料の像を取得する走査型電子顕微鏡であって、前記試料より放出された電子のうち、所定値以上のエネルギーを持つ電子を取り出すためのエネルギーフィルタと、前記エネルギーフィルタによって取り出された電子の信号強度と電子線照射時間との関係を示す時間変化曲線の時定数を抽出する時定数抽出手段と、前記抽出した時定数に基づいて前記試料を前記電子線で走査する走査順序を決定する走査順序決定手段と、を備え、前記決定された走査順序で試料を走査して観察することを特徴とする走査型電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/28 , H01J 37/05 , H01J 37/20

FI (3件)：

H01J37/28 B , H01J37/05 , H01J37/20 H

Fターム (6件)：

5C001BB07 , 5C001CC04 , 5C033AA05 , 5C033UU01 , 5C033UU04 , 5C033UU05

引用特許：

出願人引用 (5件)

走査型電子顕微鏡およびその観察方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-335986 出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社, 株式会社日立サイエンスシステムズ
鍵盤楽器用操作ガイド装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-182673 出願人：株式会社河合楽器製作所
走査電子顕微鏡法および臨界寸法測定機器のための電子ビーム線量制御
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-534525 出願人：クラ-テンコールコーポレイション

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審査官引用 (5件)

特開平3-187145
特開昭62-052841
特開昭61-066352

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