ウエハ搬送装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-302407
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148394
出願日： 1995年11月21日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】ウエハの取り出しと収納とをほぼ同時に行うことができる、ウエハ搬送装置を提供することを課題とする。【解決手段】ウエハを収納しているカセット部材2から所定の処理のために前記ウエハを取り出し、前記所定の処理の終了後に前記ウエハをカセット部材2に収納するウエハ搬送装置であって、前記ウエハの取り出しを行う第1のアーム部材11と、第1のアーム部材11から高さ方向に所定の間隔を有して配置され、前記ウエハの前記収納を行う第2のアーム部材12と、第1のアーム部材11と第2のアーム部材12とを保持し、第1のアーム部材11と第2のアーム部材12とを前記高さ方向に関して独立に駆動する駆動手段16,17,18,19を設けている。

請求項（抜粋）：

ウエハを収納しているカセット部材から所定の処理のために前記ウエハを取り出し、前記所定の処理の終了後に前記ウエハを前記カセット部材に収納するウエハ搬送装置において、前記ウエハの取り出しを行う第1のアーム部材と、前記第1のアーム部材から高さ方向に所定の間隔を有して配置され、前記ウエハの前記収納を行う第2のアーム部材と、前記第1のアーム部材と前記第2のアーム部材とを保持し、前記第1のアーム部材と前記第2のアーム部材とを前記高さ方向に関して独立に駆動する駆動手段を設けたことを特徴とするウエハ搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , H01L 21/027 , H01L 21/66

FI (4件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 C , H01L 21/66 J , H01L 21/30 502 J

引用特許：

審査官引用 (10件)

板状物搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-283623 出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
特開平4-085812
特開平4-085812

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