特許
J-GLOBAL ID:200903001155360552

透明バリアフィルムおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-056092
公開番号(公開出願番号):特開2007-144977
出願日: 2006年03月02日
公開日(公表日): 2007年06月14日
要約:
【課題】本発明の目的は、酸化珪素膜をバリア層に用いた透明性、バリア性に優れたバリアフィルム、およびこのバリアフィルムを効率的に製造可能な製造方法を提供することである。【解決手段】プラスチック基材の片面または両面に、酸化珪素膜(SiOx)をバリア層とするバリアフィルムであって、前記酸化珪素膜(SiOx)の、前記xの値を1.9〜2.1の範囲とし、かつ、酸化珪素膜の比抵抗値を1012Ωcm以上、絶縁破壊電圧を1MV/cm以上とすることで解決した。【選択図】図1
請求項(抜粋):
プラスチック基材の片面または両面に、酸化珪素膜(SiOx)をバリア層とするバリアフィルムであって、前記酸化珪素膜(SiOx)は、前記xの値が1.9〜2.1の範囲にあり、酸化珪素膜の比抵抗値が1012Ωcm以上であり、かつ、絶縁破壊電圧が1MV/cm以上であることを特徴とする透明バリアフィルム。
IPC (3件):
B32B 9/00 ,  C23C 16/42 ,  C23C 16/40
FI (3件):
B32B9/00 A ,  C23C16/42 ,  C23C16/40
Fターム (36件):
4F100AA20B ,  4F100AA20C ,  4F100AH06B ,  4F100AH06C ,  4F100AK01A ,  4F100AK42 ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA10B ,  4F100BA10C ,  4F100EH66 ,  4F100EJ61 ,  4F100GB41 ,  4F100JD02B ,  4F100JD02C ,  4F100JD10B ,  4F100JD10C ,  4F100JG04B ,  4F100JG04C ,  4F100JN01 ,  4F100JN18B ,  4F100JN18C ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA14 ,  4K030BA44 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030FA01 ,  4K030GA14 ,  4K030JA01 ,  4K030JA18 ,  4K030LA01 ,  4K030LA18
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 有機EL表示装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-296585   出願人:株式会社オートネットワーク技術研究所, 住友電装株式会社, 住友電気工業株式会社
  • ガスバリア性積層フィルム
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-234947   出願人:凸版印刷株式会社
審査官引用 (7件)
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