欠陥表示装置および検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金山聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-144150
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338052
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】次々に欠陥を検出した場合においても検出欠陥の種類や内容を把握することができる欠陥表示装置および検査装置を提供する。【解決手段】欠陥検出の履歴に対応する縮小画像を表示する縮小画像表示手段を有する欠陥表示装置、およびそれを有する検査装置。

請求項（抜粋）：

欠陥検出の履歴に対応する縮小画像を表示する縮小画像表示手段を有することを特徴とする欠陥表示装置。

IPC (3件)：

G01N 21/89 , B41F 33/02 , B41F 33/14

FI (3件)：

G01N 21/89 610 A , B41F 33/02 Z , B41F 33/14 G

Fターム (12件)：

2C250EA12 , 2C250EA13 , 2C250EB43 , 2G051AA90 , 2G051AB07 , 2G051AB11 , 2G051DA13 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051ED15 , 2G051FA01 , 2G051FA04

引用特許：

審査官引用 (5件)

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