被吸着体の離脱装置および被吸着体の離脱方法およびプラズマ処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-355240
公開番号（公開出願番号）：特開平6-188305
出願日： 1992年12月17日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】被吸着体を吸着する静電チャックより被吸着体を離脱する際、被吸着体にイオン化手段によりイオン化された不活性ガスを供給することにより前記吸着体およびこの被吸着体を吸着する静電チャックに残留する残留電荷をより完全かつ短時間で除電することができるので、前記静電チャックから被吸着体を効率的に離脱する離脱装置を提供するものである。【構成】被吸着体Wを静電的に吸着する静電チャック7と、前記被吸着体Wまたは静電チャック7の少なくとも一方に不活性ガスを供給するガス供給手段8と、前記不活性ガスをイオン化するイオン化手段43とを設け構成されたものである。

請求項（抜粋）：

被吸着体を静電的に吸着する静電チャックと、前記被吸着体または静電チャックの少なくとも一方に不活性ガスを供給するガス供給手段と、前記不活性ガスをイオン化するイオン化手段とを設けたことを特徴とする被吸着体の離脱装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , C23F 4/00 , H01L 21/302 , H01L 21/31 , H05H 1/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-289046
静電吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-230939 出願人：大見忠弘
静電チヤツク
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-160565 出願人：株式会社東芝

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