回転型デカップルドMEMSジャイロスコープ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小野由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-032910
公開番号（公開出願番号）：特開2003-247831
出願日： 2003年02月10日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】駆動質量体と感知質量体とを両方デカップルド構造とする。【解決手段】 X軸を中心に揺動自在な駆動質量体10、Z軸を中心に揺動可能な感知質量体30、及びX軸を中心に駆動質量体10と共に揺動しZ軸を中心に感知質量体30と共に揺動する媒介質量体20を備える。駆動質量体10はX軸を中心に捻れ変形する第1捻れバネ51により基板に、媒介質量体20はZ軸を中心に曲げ変形する第1曲げバネ61により駆動質量体10に、感知質量体30はX軸を中心に捻れ変形する第2捻れバネ52により媒介質量体20に、かつZ軸を中心に曲げ変形する第2曲げバネ62により基板に、各々連結する。駆動質量体10が駆動電極110によってX軸を中心に振動中に外部から角速度が印加されれば、コリオリの力によって感知質量体30がZ軸を中心に回転し感知電極130はこれを感知する。

請求項（抜粋）：

基板上に、該基板面に沿う回転軸線であるX軸を中心に揺動可能に設けられた駆動質量体と、前記基板上に、前記基板面と交差する回転軸線のZ軸を中心に揺動可能に設けられた感知質量体と、前記基板上に設置され、前記X軸を中心に前記駆動質量体と共に揺動し、前記Z軸を中心に前記感知質量体と共に揺動する媒介質量体と、前記駆動質量体が前記X軸を中心に所定の範囲で振動するよう前記駆動質量体を駆動する駆動電極と、該駆動電極によって前記駆動質量体が振動する間に角速度の印加によって発生したコリオリの力によって前記Z軸を中心に回転する前記感知質量体の変位を測定する感知電極と、を備えるMEMSジャイロスコープ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , B81B 5/00 , G01P 9/04

FI (3件)：

G01C 19/56 , B81B 5/00 , G01P 9/04

Fターム (8件)：

2F105BB02 , 2F105BB03 , 2F105BB13 , 2F105BB15 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD07

引用特許：

出願人引用 (4件)

US6067858
US6240780
US6122961

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審査官引用 (4件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-084967 出願人：株式会社村田製作所
電気分離式マイクロ機械ジャイロスコープ
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-523598 出願人：キオニックスインク
超小型精密振動レートジャイロスコープ
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-542938 出願人：ザリージェンツオブザユニヴァーシティオブカリフォルニア

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