特許

J-GLOBAL ID：200903075337097796

超小型精密振動レートジャイロスコープ

発明者： クラーク ウィリアム エイ ,  ジュノー ソア ,  ホウエ ロジャー ティー
出願人/特許権者： ザ リージェンツ オブ ザ ユニヴァーシティ オブ カリフォルニア
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-542938
公開番号（公開出願番号）：特表2002-515976
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 2002年05月28日
要約：

【要約】基板の表面に平行な軸の周りでの回転を測定するためのマイクロ製造されたジャイロスコープが提供される。電極フィンガの対間に電圧差が与えられ、直角位相エラーが減少される。マイクロ製造されたジャイロスコープは、振動構造体と、縦横比の大きな櫛型の電極とを備えている。

請求項（抜粋）：

基板と、 上記基板の表面に平行な平面内で振動するようにサスペンションシステムにより上記基板に接続された質量と、 上記平面内で上記質量から第1の軸に沿って突出する第1の複数の電極フィンガと、 上記第1の複数の電極フィンガと同一平面であって、上記基板に接続され、そして実質的に上記第1の軸に沿って突出する第2の複数の電極フィンガと、 上記基板に接続されるが、上記第2の複数の電極フィンガから電気的に分離される第3の複数の電極フィンガとを備え、この第3の複数の電極フィンガは、上記第1及び第2の複数の電極フィンガと同一平面であって、実質的に上記第1の軸に沿って突出し、上記第2及び第3の複数の電極フィンガは、上記第1の複数の電極フィンガと指を組んだ状態にされて、上記第1の複数の電極フィンガの各々が上記第2の複数の電極フィンガの1つ及び上記第3の複数の電極フィンガの1つに隣接されることを特徴とするマイクロ製造された構造体。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 力学量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-274530   出願人：日本電装株式会社
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-212025   出願人：株式会社村田製作所