電気分離式マイクロ機械ジャイロスコープ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清原義博
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-523598
公開番号（公開出願番号）：特表2003-509670
出願日： 2000年09月13日
公開日（公表日）： 2003年03月11日
要約：

【要約】分離式ドライブ及び感知振動機並びに減少された交差軸の感度を持つ振動性ジャイロスコープを詳述する。該ジャイロスコープは、標準シリコン・ウェハーに関するプラズマ・マイクロ機械工程を用いて作られる。同じマイクロ機械要素内に含まれる、ドライブの電気的絶縁およびジャイロスコープの感知機能は、高内部容量および高感度を得る間に交差結合を減少させる。

請求項（抜粋）：

基板、並びに出力軸(45)に関するねじれ振動に対してTSM(3)の動きを略制限し湾曲部(18)により該基板(1)に設けられるトルク集約部材(TSM)(3)、及びスピン軸(43)に関するねじれ振動に対してRDM(2)の動きを略制限し湾曲部(18)により該TSM(3)に設けられるローター駆動部材(RDM)(2)、からなり、TSM(3)の動きを感知するための変換器(33)及び(35)を形成する複数の電気的絶縁領域を持ちRDM(2)の動きを駆動する移動可能本体、から構成されるシリコン角速度ジャイロスコープ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 Z

Fターム (20件)：

2F105BB03 , 2F105BB08 , 2F105BB13 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD11 , 2F105CD13 , 4M112AA04 , 4M112BA07 , 4M112CA21 , 4M112CA22 , 4M112CA26 , 4M112CA32 , 4M112CA36 , 4M112DA03 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112EA11 , 4M112FA01

引用特許：

審査官引用 (3件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-143148 出願人：株式会社村田製作所
角速度センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-156337 出願人：ルーカス・インダストリーズ・パブリック・リミテッド・カンパニー
航海級の微細加工回転センサシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-246467 出願人：リツトンシステムス,インコーポレーテツド

前のページに戻る