特許

J-GLOBAL ID：200903001291979841

微小カンチレバ及び微小力利用装置

発明者： 保坂 純男 ,  菊川 敦 ,  江藤 公俊 ,  小柳 肇 ,  小野里 陽正 ,  村山 健
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立建機株式会社
代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-008978
公開番号（公開出願番号）：特開2000-206126
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 カンチレバと支持台との合わせ誤差が1μm以下の高精度合わせ機能をもち、高共振周波数及び低バネ定数をもつ微小カンチレバを提供すること。【解決手段】 SOIウェハを用い、半導体リソグラフィ技術を全工程で使用して、支持台を被い込むようにカンチレバ膜を形成し、探針1’側からみてカンチレバ1と支持台面が同一面で、カンチレバ1と支持台2とが異なった材質あるいは材料で構成される構造とした。

請求項（抜粋）：

微小力を検出する微小カンチレバであって、カンチレバ先端部に探針が形成されるとともに、探針が形成されているカンチレバ面と実質上同一平面に該カンチレバを支持する支持台が形成され、且つ、これらが異なる材質あるいは材料で構成されたことを特徴とする微小カンチレバ。

IPC (4件)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  G11B 7/12

FI (4件)：

G01N 37/00 G ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z ,  G11B 7/12

Fターム (28件)：

2F063AA43 ,  2F063CA12 ,  2F063DA01 ,  2F063DD02 ,  2F063EA16 ,  2F063EB05 ,  2F063EB15 ,  2F063EB23 ,  2F063JA04 ,  2F069AA60 ,  2F069DD15 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069MM04 ,  2F069RR03 ,  5D119AA11 ,  5D119AA22 ,  5D119BA01 ,  5D119BB02 ,  5D119CA20 ,  5D119DA01 ,  5D119DA05 ,  5D119EC24 ,  5D119FA05 ,  5D119KA01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• AFMカンチレバー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-084478   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• カンチレバー及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-143572   出願人：株式会社ニコン
• 走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーチップ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-092210   出願人：オリンパス光学工業株式会社