特許

J-GLOBAL ID：200903001338255030

圧力センサ装置

発明者： 稲葉 正俊
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-034022
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227709
出願日： 1997年02月18日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】 実装工程の簡略化と小型化を図った圧力センサ装置を提供する。【解決手段】 圧力センサチップ2は、素子が形成された面24を下向きにして配線基板1上に搭載されたICチップ3に重ねて搭載される。圧力センサチップ2とICチップ3との間は半田バンプ4a,4bにより接続され、ICチップ3と配線基板1との間は、ICチップ3に設けられた貫通孔31を介して導通する半田バンプ4c(4c1,4c2),4dにより接続され、かつ圧力センサチップ2とICチップ3の間はシール材5により気密にシールされる。

請求項（抜粋）：

配線基板と、この配線基板上に搭載された圧力センサチップ、及びこの圧力センサチップの信号処理を行うICチップとを有する圧力センサ装置において、前記圧力センサチップは、素子が形成された面を下向きにして、前記配線基板上に搭載された前記ICチップに重ねて搭載され、前記圧力センサチップと前記ICチップとの間は半田バンプにより接続され、前記ICチップと前記配線基板との間は前記ICチップに設けられた貫通孔を介して導通する半田バンプにより接続されていることを特徴とする圧力センサ装置。

IPC (3件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/00 ,  H05K 1/18

FI (3件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/00 Z ,  H05K 1/18 S

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 気圧センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-153098   出願人：株式会社豊田自動織機製作所
• 特開平4-312980
  
• 静電容量型センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-139482   出願人：オムロン株式会社