特許
J-GLOBAL ID:200903001356241012

レーザ集光ユニット及びレーザ加工装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐々木 聖孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-308012
公開番号(公開出願番号):特開2006-116570
出願日: 2004年10月22日
公開日(公表日): 2006年05月11日
要約:
【課題】 ビームスポットを一方向で任意の長さに可変出来るレーザ集光ユニット及びそれを備えたレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 集光ユニット12において、上方のシリンドリカルレンズ20は固定レンズ保持部27に保持され、下方のシリンドリカルレンズ22は本体24の空洞部25内で鉛直方向(光軸方向)に移動可能な可動レンズ保持部34に保持される。可動レンズ保持部34は、それよりも径が一回り大きい回転リング42の上に支持されている。回転リング42を回すと、回転リング42が回転方向に応じて垂直上方もしくは垂直下方へ移動し、それによって可動レンズ保持部34および可動シリンドリカルレンズ22も垂直上方もしくは垂直下方へ移動する。可動シリンドリカルレンズ22の光軸上の位置を変えることでレーザ光の線状ビームスポットの長さを可変することができる。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
所定のレーザ照射位置にレーザ光を集光するためのレーザ集光ユニットであって、 前記レーザ照射位置と一定の距離を置いて前記レーザ光の光軸上に配置される第1のシリンドリカルレンズと、 前記第1のシリンドリカルレンズと直交し、前記レーザ照射位置と可変の距離を置いて前記レーザ光軸上に配置される第2のシリンドリカルレンズと、 前記レーザ光のビームスポットサイズを所定の一方向で可変調整するために前記レーザ光軸上で前記第2のシリンドリカルレンズを移動させるレンズ移動手段と を有するレーザ集光ユニット。
IPC (6件):
B23K 26/06 ,  B23K 26/073 ,  G02F 1/37 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/10 ,  H01S 3/117
FI (7件):
B23K26/06 A ,  B23K26/06 Z ,  B23K26/073 ,  G02F1/37 ,  H01S3/00 B ,  H01S3/10 Z ,  H01S3/117
Fターム (23件):
2K002AA07 ,  2K002AB12 ,  2K002BA02 ,  2K002HA20 ,  4E068BF00 ,  4E068CA01 ,  4E068CD01 ,  4E068CD05 ,  4E068CD14 ,  4E068CD15 ,  4E068CE08 ,  4E068DA09 ,  4E068DA10 ,  4E068DB02 ,  4E068DB04 ,  5F172AE03 ,  5F172AF02 ,  5F172AL01 ,  5F172NN04 ,  5F172NQ25 ,  5F172NQ30 ,  5F172NR02 ,  5F172ZZ01
引用特許:
審査官引用 (8件)
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