特許
J-GLOBAL ID：200903001368216757
光学部材検査装置,画像処理装置,画像処理方法,及び、コンピュ-タ可読媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金井 英幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-202759
公開番号（公開出願番号）：特開2000-105166
出願日： 1999年07月16日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：
【要約】【課題】 検査対象光学部材の全体的な不良の程度を数値化することができる光学部材検査装置を提供する。【解決手段】撮像装置3は、検査対象光学部材14が所定角度回転する毎に撮像を行う。この撮像装置3による各撮像によって得られた画像データは、制御装置6内において、直交座標データに変換された後に、二値化される。二値化によって得られた二値化データ中で抽出された各不良候補要素の面積は、その不良候補要素が生じた領域毎に用意された基準値によって正規化される。この正規化の結果算出された点数は、分類テーブル中の対応欄に加算される。この分類テーブル内に最終的に書き込まれた各点数に基づいて、評価関数Fが計算され、この評価関数Fが良否判定基準値を超えたか否かに従って、検査対象光学部材14の良否判定がなされる。
請求項（抜粋）：
検査対象光学部材を撮像して当該検査対象光学部材の像を含む画像データを出力する撮像装置と、前記画像データ中における周囲とは異なる輝度を有する部位を抽出要素として抽出する抽出手段と、前記各抽出要素の図形的特徴量を計測する図形的特徴量計測手段と、前記各抽出要素の前記画像データ中における位置を計測する位置計測手段と、前記各抽出要素毎に、前記図形的特徴量計測手段によって計測された図形的特徴量を前記位置計測手段によって計測された位置に応じて正規化することによって、正規化値を得る正規化手段と、全ての抽出要素に関して前記正規化手段によって得られた全ての正規化値に基づいて所定の評価関数を実行する演算手段とを備えることを特徴とする光学部材検査装置。
IPC (4件)：
G01M 11/00
, G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06T 7/00
G01M 11/00 L
, G01N 21/88 J
, G01B 11/24 K
, G06F 15/62 400
