多方向変形によってスパッタリング物品を形成する方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 永坂友康 , 西山雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-533580
公開番号（公開出願番号）：特表2007-516352
出願日： 2004年06月07日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

複数のスパッタターゲットを形成するよう分割するのに十分な寸法を有するバルブ金属のミル成形体を製造する方法が記載される。本方法は、約100μm以下の好ましい平均粒度及び/又は組織バンドの実質的にない組織を有するミル成形体を形成するためのインゴットの多方向変形を含む。

請求項（抜粋）：

複数のスパッタターゲットを形成するよう分割するのに十分な寸法を有する多方向に変形されたバルブ金属を製造する方法であって、第1寸法と、第1寸法に垂直な第2寸法と、第2寸法に垂直で第1及び第2寸法よりも小さい第3寸法とを有する予備成形体スラブを形成するためのインゴットの第1変形;並びに第2寸法を第3寸法よりも小さくして約250μmよりも小さい平均粒度を有する中間体スラブを形成するように、第3寸法を大きくしかつ第2寸法を小さくすることによる当該予備成形体スラブの第2変形を含む、方法。

IPC (4件)：

C22F 1/18 , C23C 14/34 , B21B 1/00 , B21B 3/00

FI (5件)：

C22F1/18 F , C23C14/34 A , C22F1/18 G , B21B1/00 A , B21B3/00 L

Fターム (14件)：

4E002AA08 , 4E002AB01 , 4E002AB06 , 4E002BD01 , 4E002BD06 , 4E002BD09 , 4E002CB01 , 4K029BA01 , 4K029BA16 , 4K029BA21 , 4K029CA05 , 4K029DC03 , 4K029DC04 , 4K029DC07

引用特許：

審査官引用 (4件)

特許第6193821号
高純度ニオブおよびそれを含む製品、ならびにその製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-510732 出願人：キャボットコーポレイション
均一な集合組織を有する耐火金属板及び該板を製造する方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-570787 出願人：ハーツェーシュタルクインコーポレイテッド

全件表示

前のページに戻る