特許
J-GLOBAL ID：200903048358476900
均一な集合組織を有する耐火金属板及び該板を製造する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
矢野 敏雄
, 山崎 利臣
, 久野 琢也
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-570787
公開番号（公開出願番号）：特表2004-526863
出願日： 2002年02月20日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：
インゴットを短い長さに切断し(12)、かつインゴットを交互の本質的に直交の加工軸に沿ってプレス加工する(14、22、30、34)方法によって、必須の純度のタンタル又はニオブのインゴットからスパッタリング用ターゲットを形成させる方法(10)。中間のアニール(18、26、38)は、必要に応じて適用されて、中心を含めてターゲット中くまなく均一な集合組織を厚さに関して及び領域に関して確立する。均一な集合組織は実質的に、配向(100)及び(111)を有する粒子の一定の混合物であり、それにより、膜厚を制御するのにより予測可能であるスパッタ速度を提供することによりスパッタリング性能を改善する。
請求項（抜粋）：
厚さ、中心及びエッジを有している耐火金属板において、前記の中心から前記のエッジへの前記の厚さを通して均一な集合組織を有していることを特徴とする、厚さ、中心及びエッジを有している耐火金属板。
IPC (1件)：
FI (2件)：
引用特許：
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