特許
J-GLOBAL ID：200903001435925431
電子ビーム照明装置及び該装置を備えた電子ビーム露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-005440
公開番号（公開出願番号）：特開平10-199469
出願日： 1997年01月16日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】 広い照明領域に均一な照明を行える電子ビーム照明装置及び該装置を備えた電子ビーム露光装置を提供する。【解決手段】 電子ビームを放射する光源を用いて物体を照明する電子ビーム照明装置において、前記光源からの電子ビームを前記物体に照射する為の、複数の電子レンズを有する照明電子光学系と、前記物体に照射される電子ビームの強度分布に関する情報を得る手段と、前記情報に基づいて、前記複数の電子レンズの少なくとも2つの電子レンズを調整する調整手段とを有する。
請求項（抜粋）：
電子ビームを放射する光源を用いて物体を照明する電子ビーム照明装置において、前記光源からの電子ビームを前記物体に照射する為の、複数の電子レンズを有する照明電子光学系と、前記物体に照射される電子ビームの強度分布に関する情報を得る手段と、前記情報に基づいて、前記複数の電子レンズの少なくとも2つの電子レンズを調整する調整手段とを有することを特徴とする電子ビーム照明装置。
IPC (4件)：
H01J 37/305
, G03F 7/20 504
, G21K 5/04
, H01L 21/027
H01J 37/305 B
, G03F 7/20 504
, G21K 5/04 E
, H01L 21/30 541 E
