特許
J-GLOBAL ID:200903001512888129
固体撮像素子及びその製造方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-000943
公開番号(公開出願番号):特開2005-197392
出願日: 2004年01月06日
公開日(公表日): 2005年07月21日
要約:
【課題】固体撮像素子のマイクロレンズの集光性を改善し、マイクロレンズ表面やマイクロレンズ間の非開口部からの反射光を低減して固体撮像素子のS/N比を改善すること。【解決手段】マイクロレンズ15の材料が1.38〜1.47の屈折率を有するフッ素系アクリル樹脂であり、マイクロレンズの位置がカラーフィルタ14の直上で、そのアスペクト比(レンズ厚み/レンズ巾)が0.14〜0.38であり、マイクロレンズ間の非開口部16に微小凹凸を有するカラーフィルタ表面が露出していること。【選択図】図3
請求項(抜粋):
2次元的に配置た光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して配設されたカラーフィルタと、該カラーフィルタ上に形成された複数のマイクロレンズを具備した固体撮像素子において、該マイクロレンズの材料が1.38〜1.47の屈折率を有する透明樹脂であり、マイクロレンズの位置がカラーフィルタの直上で、そのアスペクト比(レンズ厚み/レンズ巾)が0.14〜0.38であり、マイクロレンズ間の非開口部に微小凹凸を有するカラーフィルタ表面が露出していることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L27/14 D
, H04N5/335 U
Fターム (20件):
4M118AA01
, 4M118AA02
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118CA02
, 4M118CA03
, 4M118CA32
, 4M118FA06
, 4M118FA33
, 4M118FA35
, 4M118GC07
, 4M118GD02
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 5C024CX03
, 5C024CX41
, 5C024CY47
, 5C024DX01
, 5C024EX43
, 5C024EX52
引用特許:
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る