特許
J-GLOBAL ID：200903001517628419
ビームホモジェナイザ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-529036
公開番号（公開出願番号）：特表2001-507139
出願日： 1997年12月19日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：
【要約】これまでの実施例にあったファセット間の中断部が角張ったことに起因する、出力平面(18)における不要な強度変動を最小化するビームホモジェナイザ(10)である。このホモジェナイザは、不規則的にパターン形成された回折フリンジからなるホログラムを有している。入力ビーム(14)は、ホログラムの少なくとも一部分を照射する。このホログラムは、入力ビームの一部を出力平面(18)に伝播させる。そうすると、入力ビーム(14)のエネルギが、出力平面(18)において空間的に再分布されて、出力平面(18)において予定された空間エネルギ分布を有する均質化した出力ビームとなるようにした。すなわち、出力平面(18)の照射部分は、ホモジェナイザの設計者が予定した形状を有することになる。
請求項（抜粋）：
ファセット間の中断部が角張ったことに起因する、出力平面における不要な強度変動を最小化するビームホモジェナイザであって、 不規則的にパターン形成された回折フリンジからなるホログラムと、 上記ホログラムの少なくとも一部を照射する入力ビームと、を備え、 上記ホログラムが上記ホログラムに照射される入力ビームの一部を出力平面に伝播させ、この結果、入力ビームのエネルギが、出力平面において空間的に再分布されて、出力平面において予定された空間エネルギ分布を有する均質化した出力ビームとなるようにしたことを特徴とするビームホモジェナイザ。
IPC (5件)：
G02B 27/09
, G02B 5/32
, G03F 7/20 501
, G03H 1/08
, H01L 21/027
G02B 27/00 E
, G02B 5/32
, G03F 7/20 501
, G03H 1/08
, H01L 21/30 528
審査官引用 (3件)
-
光ビーム変換装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-039879
出願人：ザウィタカーコーポレーション
-
光源の解体成形装置
公報種別：公表公報
出願番号：特願平7-505788
出願人：フィジィカルオプティクスコーポレーション
-
特表平7-509572
引用文献：
前のページに戻る
