基板処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福島祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-095787
公開番号（公開出願番号）：特開2006-278736
出願日： 2005年03月29日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】基板の乾燥効率を向上させることができる基板処理装置を提供する。【解決手段】オートフラップ機構400は、2つの支持部43a、回転軸43bおよび板状部材43cを備える。2つの支持部43aは、外槽43の内部で側壁から水平方向に突出するように形成されている。2つの支持部43a間に回転軸43bが取り付けられている。回転軸43bには、外槽43の側壁に沿うように、長手形状を有する板状部材43cが回転可能に取り付けられている。外槽43の底部には、処理液排出口44Xが形成されている。内槽40から溢れ出す処理液は、板状部材43cと内槽40の側壁との間の隙間Cおよび外槽43の処理液排出口44Xを通って処理液排出管44に流れる。内槽40から処理液が溢れ出す場合、オートフラップ機構400の板状部材43cは、処理液の流れに応じて回転軸43bを中心として回転する。それにより、板状部材43cの下端が外槽43の側壁の内面に当接する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、処理液を貯留する処理槽と、前記処理槽内の処理液中と前記処理槽の上方位置との間で基板を昇降させる基板昇降手段と、前記基板昇降手段により前記処理槽から引き上げられる基板に気体を供給する気体供給手段とを備え、前記処理槽は、前記処理液を貯留するとともに、基板を収納可能な内槽と、前記内槽の周囲を取囲むように設けられ、前記内槽から溢れる処理液が流入する外槽と、前記外槽内に流入した処理液を排出する処理液排出口と、前記外槽内の少なくとも一部の領域において前記内槽の側壁に対向しかつ略水平方向の軸の周りで回動可能に設けられた遮蔽部材とを備え、前記遮蔽部材は、前記気体供給手段から基板に気体が供給される間、前記内槽から前記外槽に流入した処理液の流れにより下端が前記外槽の側壁の内面側に回動して処理液を前記処理液排出口に案内することを特徴とする基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 , B08B 3/04

FI (3件)：

H01L21/304 642A , H01L21/304 651L , B08B3/04 Z

Fターム (8件)：

3B201AA02 , 3B201AA03 , 3B201AB08 , 3B201AB47 , 3B201BB02 , 3B201BB93 , 3B201CC12 , 3B201CD31

引用特許：

出願人引用 (5件)

基板処理法及び基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-190654 出願人：エス・イー・エス株式会社
基板処理装置および基板処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-162181 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-071146 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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審査官引用 (4件)

基板処理装置および基板処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-162181 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-071146 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-179537 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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