特許

J-GLOBAL ID：200903001574148059

光学式振動センサ

発明者： 木村 光照 ,  大澤 理加
出願人/特許権者： 株式会社高岳製作所 ,  木村 光照
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-202036
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035606
出願日： 1993年07月23日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 光ファイバとカンチレバを用いた光学式振動センサにおいて、光学レンズと蛍光板の製造を確実かつ容易に行うことができるとともに、カンチレバ部分の製造を容易にする。【構成】 基板11bと一体形成したカンチレバ12と対向させて、先端に光学レンズ14と蛍光部15を有する光ファイバ40の先端部を、基板11aに形成した光ファイバ位置指定用の溝16aにその先端部を挿入することにより配置する。

請求項（抜粋）：

光反射膜をもつカンチレバと光ファイバとを組合せた光学式振動センサにおいて、基板と一体形成したカンチレバと対向させて、先端に光学レンズと蛍光部を有する光ファイバの先端部を、基板に形成した光ファイバ位置指定用の溝にその先端部を挿入することにより配置し、上記光ファイバを通して入射された光が、少なくとも無振動時には光学レンズと蛍光部を通過してカンチレバ上の上記光反射膜で反射し、再び蛍光部、光学レンズを通過して光ファイバに戻るように構成した光学式振動センサ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光学式振動センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-297585   出願人：株式会社高岳製作所, 木村光照
• 光学式振動センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-310148   出願人：株式会社高岳製作所, 木村光照