特許
J-GLOBAL ID：200903001621906927
容量式力学量センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
碓氷 裕彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-027439
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228679
出願日： 2001年02月02日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：
【要約】【目的】 力学量によって変位可能な可動電極と、可動電極と微小な空隙を隔てて対向した固定電極とを備えた容量式力学量センサにおいて、半導体基板の不均一な変位による出力変動を低減した構造を提供することにある。【構成】 可動部8の変位方向Xの支持基板40の幅を均一にしたことにより、支持基板40に強制変位を加えた場合、可動部8は、全体として上側に変位するものの、均一な変位により、可動部8の変位方向Xへの変位が抑制される。よって、可動部8の変位方向Xの支持基板40の幅を均一にすることにより、温度変化によって支持基板40が変形しても、可動電極11aと固定電極16aとの距離変化と、可動電極11bと固定電極16bとの距離変化を抑制でき、可動部8及び固定電極16a、16bの不均一な変位による容量変化を低減することができ、温度変化による出力変動を抑制することができる。
請求項（抜粋）：
半導体層に形成され力学量の印加に応じて変位する梁部と前記梁部に支持される可動電極とを備える可動部と、前記可動電極の検出面と対向する検出面を有した固定電極とを備え、力学量の印加に応じて前記可動部が変位したときの前記可動電極の検出面と前記固定電極の検出面との間の距離変化に応じて印加力学量を検出する容量式力学量センサにおいて、前記可動部及び前記固定電極からなるセンシング部を支持する枠体を設け、前記可動部の変位方向における前記枠体の幅は均一となっていることを特徴とする容量式力学量センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, H01L 29/84 A
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA24
, 4M112CA25
, 4M112CA26
, 4M112CA31
, 4M112CA32
, 4M112CA35
, 4M112DA04
, 4M112DA18
, 4M112EA06
, 4M112EA11
, 4M112FA05
