特許
J-GLOBAL ID：200903001624325100
群管理システム、サーバ装置、およびプログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷川 英和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-334273
公開番号（公開出願番号）：特開2008-147489
出願日： 2006年12月12日
公開日（公表日）： 2008年06月26日
要約：
【課題】従来の群管理システムにおいては、製造装置の異常通知を受けた後、迅速かつ適切に対応できなかった。【解決手段】自装置の状況情報を送信する状況情報送信部1107を具備する製造装置11と、サーバ側受信部1201が受信した状況情報の少なくとも一部を用いて、1以上の製造装置11についての異常の発生を検出する異常検出部1205と、異常検出部1205が異常が発生したことを検出した場合に、異常が発生した製造装置11に対応した装置識別情報を有する異常の発生を通知する異常通知情報を構成する異常通知情報構成部1206と、異常通知情報を所定のクライアント装置13に送信するサーバ側送信部1208と、を具備するサーバ装置12と、クライアント側受信部1301が受信した異常通知情報を出力する出力部1302を具備するクライアント装置13とを備えた。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被処理基板に対する所定のプロセスを実行する1以上の製造装置と、当該1以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている1以上のクライアント装置とを具備し、異常検出を行う機能を有する群管理システムであって、
前記製造装置は、
当該製造装置の状況に関する時系列の情報である状況情報を取得する状況情報取得部と、
前記状況情報取得部が取得した状況情報を送信する状況情報送信部と、を具備し、
前記サーバ装置は
前記状況情報を受信するサーバ側受信部と、
前記サーバ側受信部が受信した状況情報の少なくとも一部を用いて、前記1以上の製造装置についての異常の発生を検出する異常検出部と、
前記異常検出部が前記1以上の製造装置のうちのいずれかに、異常が発生したことを検出した場合に、当該異常が発生した1以上の製造装置に対応した、前記製造装置を識別する情報である1以上の装置識別情報を有する情報であって、異常の発生を通知する情報である異常通知情報を構成する異常通知情報構成部と、
前記異常通知情報を所定の前記クライアント装置に送信するサーバ側送信部と、
前記異常が発生した1以上の製造装置に関して実行させる命令と、前記異常通知情報が有する前記装置識別情報と、を含む情報である命令情報を受信する命令情報受信部と、
前記命令情報に含まれる前記装置識別情報を用いて、前記命令情報に含まれる命令を実行する命令実行部と、を具備し、
前記クライアント装置は、
前記異常通知情報を受信するクライアント側受信部と、
前記クライアント側受信部が受信した異常通知情報を出力する出力部と、
前記命令を受け付ける命令受付部と、
前記命令受付部が受け付けた命令と、前記異常通知情報が有する1以上の前記装置識別情報と、を用いて前記命令情報を構成する命令情報構成部と、
前記命令情報を、前記サーバ装置に送信する命令情報送信部と、を具備する群管理システム。
IPC (6件)：
H01L 21/02
, G08B 25/00
, G08B 25/08
, G05B 23/02
, G05B 19/418
, G06Q 50/00
H01L21/02 Z
, G08B25/00 510K
, G08B25/08 A
, G05B23/02 V
, G05B19/418 Z
, G06F17/60 106
3C100AA51
, 3C100AA52
, 3C100AA68
, 3C100BB13
, 3C100CC03
, 3C100EE06
, 5C087AA02
, 5C087AA03
, 5C087AA24
, 5C087BB03
, 5C087BB74
, 5C087DD08
, 5C087DD21
, 5C087EE05
, 5C087EE07
, 5C087EE15
, 5C087FF01
, 5C087FF02
, 5C087FF04
, 5C087FF19
, 5C087FF20
, 5C087GG08
, 5C087GG19
, 5C087GG23
, 5C087GG32
, 5C087GG66
, 5C087GG67
, 5C087GG70
, 5C087GG83
, 5H223AA05
, 5H223DD03
, 5H223DD07
, 5H223DD09
, 5H223EE30
