特許
J-GLOBAL ID：200903064045838351
半導体製造装置の群管理システムにおける測定データ加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-157776
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354395
出願日： 1998年06月05日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 測定器から送られてくるデータを自動的に、かつ正確に加工できる半導体製造装置の群管理システムにおける測定データ加工方法を提供する。【解決手段】 この測定データ加工方法では、群管理システム1の群管理部の測定器通信部12に測定器20が送信してくる種々の測定データを受信データRVDとして受信する。測定データ加工方法は、前記測定データを加工する計算式CFFを予め登録しておき、前記測定データを受信したとき、前記測定データを測定データ受信バッファMBに格納するとともに、前記測定データが有するレシピ名称に基づいて、前記登録された計算式の中から前記測定データを加工するのに適する少なくとも一つの同じレシピ名称をもつ計算式CFFを選択して計算式格納バッファFBに格納し、格納された前記測定データを前記選択された計算式に適用して計算し、計算結果を加工済みデータ格納バッファCBに記憶する。
請求項（抜粋）：
測定器が送信してくる種々の測定データを受信してデータ加工を行う半導体製造装置の群管理システムにおける測定データ加工方法において、前記測定データを加工する計算式を予め登録しておき、前記測定データを受信したとき、前記登録された計算式の中から前記測定データを加工するのに適する少なくとも一つの計算式を選択し、前記受信された測定データを前記選択された計算式に適用して計算し、計算結果を記憶することを特徴とする半導体製造装置の群管理システムにおける測定データ加工方法。
引用特許：
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