静電アクチュエータ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-339481
公開番号（公開出願番号）：特開平8-186987
出願日： 1994年12月29日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】【目的】固定子と移動子の間に発生する静電気による吸引力、反発力により移動子を駆動する静電アクチュエータにおいて、移動子に対する駆動力の向上と構造の簡易化を図ること。【構成】移動子11の電極17a,17bを1つ置きに配設した電極毎に互いに接続して2相(a相,b相)とし、固定子12の電極20a〜20cを2つ置きに配設した電極毎に互いに接続して3相(U相,V相,W相)とする。固定子と移動子の電極のいずれか一方に極性を固定して電圧を印加し、固定子の電極と移動子の電極のいずれか他方に極性を切り替えて電圧を印加し、移動子の電極と固定子の電極の間に生じる静電気による吸引力、反発力により移動子を固定子に対して移動させる

請求項（抜粋）：

絶縁層に複数の電極を配設した固定子と、絶縁層に複数の電極を配設し、上記固定子に対して対向した配置した移動子とを備え、上記固定子の電極と移動子の電極のいずれか一方に極性を固定して電圧を印加し、上記固定子の電極と移動子の電極のいずれか他方に極性を切り替えて電圧を印加し、移動子の電極と固定子の電極の間に生じる静電気による吸引力、反発力により移動子を固定子に対して移動させる構成とした静電アクチュエータであって、上記移動子の電極を1つ置きに配設した電極毎に互いに接続して2相として、同一相の電極には同一極性の電極を印加する一方、上記固定子の電極を2つ置きに配設した電極毎に互いに接続して3相として、同一相の電極には同一極性の電圧を印加する構成としていることを特徴とする静電アクチュエータ。

引用特許：

審査官引用 (5件)

静電アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-225551 出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー
静電アクチュエータの駆動方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-136381 出願人：三菱化成株式会社, 三菱電機株式会社
特開平4-271284

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