特許
J-GLOBAL ID：200903001679390203

アルミニウム系III族窒化物の製造方法

発明者：
纐纈 明伯

纐纈 明伯 について

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熊谷 義直

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永島 徹

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出願人/特許権者：
株式会社トクヤマ

株式会社トクヤマ について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-303320
公開番号（公開出願番号）：特開2006-114845
出願日： 2004年10月18日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：
【課題】 ハロゲン化アルミニウムを含むIII族ハロゲン化物のガス体を用いたHVPE法によるアルミニウム系III族窒化物を製造することを課題とし、長時間に渡って成長速度を維持したまま成長を続けて、効率良くアルミニウム系III族窒化物を製造する方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 三塩化アルミニウムなどのハロゲン化アルミニウムを含むIII族ハロゲン化物ガスと窒素源ガスとを反応域に保持された基板上で反応させることにより、基板上に気相成長させてアルミニウム系III族窒化物を製造する方法において、該III族ハロゲン化物ガスと窒素源ガスとの間にアルゴンなどのバリアガスを介在させて両反応ガスを反応域に流出せしめ、次いで基板上で両反応ガスを接触させて反応させる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
ハロゲン化アルミニウムを含むIII族ハロゲン化物ガスと窒素源ガスとを反応域に保持された基板上で反応させることにより、基板上に気相成長させてアルミニウム系III族窒化物を製造する方法において、該III族ハロゲン化物ガスと窒素源ガスとの間にバリアガスを介在させて両反応ガスを反応域に流出せしめ、次いで基板上で両反応ガスを接触させて反応させることを特徴とするアルミニウム系III族窒化物の製造方法。
IPC (5件)：
H01L 21/205 ,  C23C 16/34 ,  C23C 16/455 ,  C30B 25/14 ,  C30B 29/38
FI (5件)：
H01L21/205 ,  C23C16/34 ,  C23C16/455 ,  C30B25/14 ,  C30B29/38 C
Fターム (44件)：
4G077AA03 ,  4G077BE13 ,  4G077DB01 ,  4G077DB05 ,  4G077DB11 ,  4G077EA06 ,  4G077HA02 ,  4G077TA04 ,  4G077TA06 ,  4G077TB03 ,  4G077TC01 ,  4G077TC03 ,  4G077TG04 ,  4G077TH05 ,  4K030AA03 ,  4K030AA13 ,  4K030AA18 ,  4K030BA02 ,  4K030BA08 ,  4K030BA11 ,  4K030BA38 ,  4K030CA05 ,  4K030EA03 ,  4K030FA10 ,  4K030JA06 ,  4K030LA14 ,  5F041AA31 ,  5F041CA34 ,  5F041CA67 ,  5F045AA03 ,  5F045AB09 ,  5F045AC02 ,  5F045AC12 ,  5F045AC15 ,  5F045AD15 ,  5F045AE15 ,  5F045AF09 ,  5F045BB08 ,  5F045CA10 ,  5F045DP04 ,  5F045DQ06 ,  5F173AH44 ,  5F173AP04 ,  5F173AR92
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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