特許
J-GLOBAL ID：200903001694495275
高純度Ti錯体及びその製造方法並びにBST膜形成用液体組成物
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-194874
公開番号（公開出願番号）：特開平9-040682
出願日： 1995年07月31日
公開日（公表日）： 1997年02月10日
要約：
【要約】【課題】 熱分解温度が高く、高純度なTi錯体を提供する。【解決手段】 [TiO(DPM)2 ]2 :TiCl2 (DPM)2 の有機溶媒溶液に純水を加え、アルカリ剤でpH6.0〜8.0として白濁させた後、有機層を分取して水洗後、加熱還流して[TiO(DPM)2 ]2 結晶を得る。この高純度Ti錯体とBa(DPM)2 及び/又はSr(DPM)2 とを有機溶媒に溶解したBST膜形成用液体組成物。【効果】 CVD法により、段差被覆性が良好で、高純度で電気特性に優れたTiO膜を成膜できる。溶液供給法により、所望の膜組成のBST膜を成膜できる。
請求項（抜粋）：
下記化学式(I)で表される高純度Ti錯体。[TiO(DPM)2 ]2 ......(I)(ただし、(I)式中、DPMはジピバロイルメタンを示す。)
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
