特許
J-GLOBAL ID：200903001699384811
プローブカード
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-339353
公開番号（公開出願番号）：特開平10-177040
出願日： 1996年12月19日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：
【要約】【課題】 探針を固定リングに樹脂部で固定したときの熱変形による端子先端の位置ずれを防ぐ。【解決手段】 固定リング14に探針12の中間節部を固定する樹脂部16を分断部18によって分断し、熱応力の影響を低減させる。
請求項（抜粋）：
プリント配線が設けられたプローブカード基板と、このプローブカード基板に固定された固定リングと、前記プリント配線端子に基端が接続固定され先端が被検査体の端子に向かって伸張した複数の探針と、各探針の中間節部を前記固定リングに固定する樹脂部と、を含むプローブカードにおいて、前記樹脂部は所定数の探針毎に分断されていることを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
