特許
J-GLOBAL ID：200903001725935988

基板受渡装置

発明者：
亀山 雄大

亀山 雄大 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-012415
公開番号（公開出願番号）：特開2009-176858
出願日： 2008年01月23日
公開日（公表日）： 2009年08月06日
要約：
【課題】ガラス基板の基板受渡装置にて、ガラス基板を昇降させる支持ピン、及び支持ピンの昇降機構を必要としない基板受渡装置を提供する。【解決手段】ローラ軸61と直角な方向Xの一直線上に並列して設けられた複数個のローラ部60と、ローラ部の下方にて、一直線上に設けられた伝動部70とで構成されるローラコンベアモジュールが、その長手方向を基板搬送方向と平行にして基板搬送方向と直角方向に複数個が設けられ、ローラコンベアモジュールのローラ部上のガラス基板1の下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向にて、ロボットハンド40が進入することのできる空間が設けられていること。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
ローラコンベアの末端部に配設され、該ローラコンベアで水平に搬送されてきた枚葉のガラス基板をローラ部上からロボットハンド上に受渡す基板受渡装置において、 1)a)前記ローラ部のローラ軸と直角な方向の一直線上に、一定間隔をもって水平に、その上部を同一面上にし、並列して設けられた複数個のローラ部と、 b)該複数個のローラ部の下方にて、前記一直線と平行な一直線上に設けられた、ローラ部を回転するための動力を伝える伝動部とで構成されるローラコンベアモジュールが、 2)その長手方向を基板搬送方向と平行にして、基板搬送方向と直角方向に一定間隔をもって水平に、その上部を同一面上にし、並列して複数個が設けられ、 3)該複数個のローラコンベアモジュールのローラ部上にガラス基板が搬送されて載置された際に、ガラス基板の下方、複数個のローラコンベアモジュールの間、基板搬送方向にて、ロボットハンドが進入することのできる空間が設けられていることを特徴とする基板受渡装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/07
FI (2件)：
H01L21/68 A ,  B65G49/07 B
Fターム (5件)：
5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA13 ,  5F031GA02 ,  5F031GA53
引用特許：
出願人引用 (2件)

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