特許
J-GLOBAL ID：200903002780409990

基板処理装置

発明者：
柴▲崎▼ 博

柴▲崎▼ 博 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-330261
公開番号（公開出願番号）：特開2006-140380
出願日： 2004年11月15日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：
【課題】 基板を水平搬送手段から基板回転処理ユニットへ移載する機構を有する装置において、発塵の心配が無く、湿式処理が行われても不都合を生じることがなく、構造が簡単で、フットプリントも比較的小さい装置を提供する。【解決手段】 基板回転処理ユニット10およびローラコンベア16を備え、ローラコンベアの搬送路終端部と対向するようにかつ基板Wを支持するフリーローラ28の基板支持面とローラコンベアの基板搬送面とが同一高さとなるように配置されるキャリア板20と、ローラコンベアの搬送路終端部からキャリア板上へ基板を水平移動させる移載アーム32と、基板を支持したキャリア板を、基板受け渡し位置Aから基板回転処理ユニットの回転保持円板12上へ移動させる支持・移動機構とを備え、回転保持円板が、キャリア板の載置面および基板を保持する支持ピン44、46を有する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
鉛直軸回りに回転自在に支持され基板を水平姿勢に保持する回転保持部材を有し基板を回転させて処理する基板回転処理ユニットを備えた基板処理装置において、 基板を水平方向へ直線的に搬送する水平搬送手段と、 基板を水平姿勢に支持する支持部を有し、前記水平搬送手段の搬送路終端部と対向するようにかつ前記支持部の基板支持面と水平搬送手段の基板搬送面とが同一高さとなるように配置される可動支持部材と、 前記水平搬送手段の搬送路終端部から前記可動支持部材上へ基板を水平移動させる移載手段と、 基板を支持した前記可動支持部材を、前記水平搬送手段の搬送路終端部と対向する位置から前記基板回転処理ユニットの回転保持部材上へ移動させる移動手段と、 を備え、 前記回転保持部材が、前記可動支持部材が載置される載置面、および、この載置面に載置された前記可動支持部材から上方に離間して基板を保持する基板保持部を有することを特徴とする基板処理装置。
IPC (6件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/677 ,  B05C 13/00 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/68 A ,  B05C13/00 ,  B65G49/06 Z ,  B65G49/07 B ,  H01L21/30 569C
Fターム (23件)：
4F042AA06 ,  4F042DF01 ,  4F042DF19 ,  4F042DF25 ,  4F042DF29 ,  4F042DF34 ,  4F042EB21 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA53 ,  5F031HA09 ,  5F031HA32 ,  5F031HA48 ,  5F031HA59 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031PA30 ,  5F046LA05 ,  5F046LA06
引用特許：
出願人引用 (7件)
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