特許
J-GLOBAL ID：200903001775250161
走査型縮小投影露光装置及びディストーション測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中澤 昭彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-249957
公開番号（公開出願番号）：特開平10-097969
出願日： 1996年09月20日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】高精度のディストーション測定を行うことができる走査型縮小投影露光装置及びディストーション測定方法を提供する。【解決手段】レチクル上のパターンを、レチクル及び半導体基板を同期走査することにより半導体基板に縮小投影露光する走査型縮小投影露光装置において、レチクルに配置された測定パターンを半導体基板に走査露光する手段と、レチクルと半導体基板とを静止させた状態で基準パターンを半導体基板に静止露光する手段とにより、ディストーション測定を行う。
請求項（抜粋）：
レチクル上のパターンを、レチクル及び半導体基板を同期走査することにより半導体基板に縮小投影露光する走査型縮小投影露光装置において、走査露光と静止露光を組み合わせてディストーション測定を行う手段を有することを特徴とする走査型縮小投影露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 518
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 516 Z
