特許
J-GLOBAL ID:200903001820532041

積層型圧電素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  青木 博昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-177617
公開番号(公開出願番号):特開2009-016617
出願日: 2007年07月05日
公開日(公表日): 2009年01月22日
要約:
【課題】焼成時の変形を抑制できると共に、駆動時に十分な変位量を得ながら応力によるクラック等を抑えることが可能な積層型圧電素子を提供する。【解決手段】積層型圧電素子E1では、最外層を構成する圧電体層3aと圧電体層3bとが同一の厚さを有しているので、焼成時の変形が生じにくくなる。圧電体層3a,3bが活性領域と不活性領域とを有するので、分極時に第1の主面2a側で発生する応力と第2の主面2b側で発生する応力との間に差分が生じにくくなり、クラック等の発生を抑制できる。活性領域を有さない圧電体層3cを一対の最外層の間に挟むので、他の圧電体層3にて分極時に発生する応力を圧電体層3cで緩和することができる。圧電体層3bの活性領域7bが圧電体層3aの活性領域7aよりも短くなっているので、最外層同士で変位量が異なり、積層型圧電素子E1全体の変位量を高めることができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
複数の内部電極と複数の圧電体層とが交互に積層された積層体と、前記内部電極に接続された外部電極とを備える積層型圧電素子であって、 前記複数の圧電体層のうち、一方の最外層を構成する第1の圧電体層と他方の最外層を構成する第2の圧電体層とは、厚さが同一であると共に、前記外部電極に電圧を印加した際に伸縮する活性領域と伸縮しない不活性領域とをそれぞれ有しており、 前記複数の圧電体層が延びる方向において、前記第2の圧電体層の前記活性領域は、前記第1の圧電体層の前記活性領域よりも短くなっており、 前記複数の圧電体層のうち、前記第1の圧電体層と前記第2の圧電体層との間に位置し且つ前記圧電体層の積層方向における中央位置よりも前記第2の圧電体層側に配された第3の圧電体層は、前記活性領域を有していないことを特徴とする積層型圧電素子。
IPC (3件):
H01L 41/083 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22
FI (4件):
H01L41/08 S ,  H01L41/08 Q ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 Z
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 特許第3511981号公報
審査官引用 (5件)
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