特許

J-GLOBAL ID：200903001831786240

コンデンサー及び半導体装置並びにそれらの作製方法

発明者： 村上 智史 ,  藤本 悦子 ,  山崎 舜平
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-130974
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323662
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 動作性能および信頼性の高い半導体装置およびその作製方法を提供する。【解決手段】 絶縁膜上に形成された遮蔽膜及び該遮蔽膜の表面に形成された酸化物とが形成する段差を樹脂絶縁膜で平坦化する。そして、前記酸化物及び樹脂絶縁膜を介して画素電極と遮蔽膜とが重なるように配置し、保持容量を形成する。こうすることで、画素電極の平坦性が向上し、前記段差に起因して液晶分子の配向が乱れたり、液晶に印加される電界が不均一になるといった不具合を防ぐことができる。

請求項（抜粋）：

第1導電膜と、該第1導電膜に接して設けられた絶縁物と、該絶縁物に接して設けられた絶縁膜と、該絶縁膜に接して設けられた第2導電膜とで形成され、前記絶縁膜は、前記第1導電膜と前記絶縁物とで形成される段差を平坦化するように設けられていることを特徴とするコンデンサー。

IPC (6件)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  G02F 1/1365 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H04N 5/66 102

FI (4件)：

H01L 27/04 C ,  H04N 5/66 102 A ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 612 Z

Fターム (122件)：

2H092JA25 ,  2H092JA29 ,  2H092JA35 ,  2H092JA36 ,  2H092JA38 ,  2H092JA39 ,  2H092JA42 ,  2H092JA43 ,  2H092JA44 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB32 ,  2H092JB33 ,  2H092JB38 ,  2H092JB51 ,  2H092JB58 ,  2H092JB63 ,  2H092JB69 ,  2H092KA04 ,  2H092KA07 ,  2H092KA12 ,  2H092MA07 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA16 ,  2H092MA17 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA27 ,  2H092MA30 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092MA41 ,  2H092NA24 ,  2H092NA25 ,  2H092PA06 ,  2H092QA07 ,  5C058AA09 ,  5C058AA12 ,  5C058AB02 ,  5C058AB06 ,  5C058BA32 ,  5F038AC05 ,  5F038AC15 ,  5F038AC16 ,  5F038AC18 ,  5F038AZ10 ,  5F038CA02 ,  5F038DF01 ,  5F038DF11 ,  5F038EZ06 ,  5F038EZ11 ,  5F110AA06 ,  5F110AA18 ,  5F110AA30 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110BB10 ,  5F110CC02 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE06 ,  5F110EE08 ,  5F110EE14 ,  5F110EE48 ,  5F110FF04 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG34 ,  5F110GG35 ,  5F110GG51 ,  5F110GG52 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL12 ,  5F110HL23 ,  5F110HM14 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN46 ,  5F110NN47 ,  5F110NN54 ,  5F110NN55 ,  5F110NN58 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP34 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ19 ,  5F110QQ22 ,  5F110QQ23 ,  5F110QQ24 ,  5F110QQ25 ,  5F110QQ28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 液晶表示装置およびその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-273445   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• 半導体装置及びその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-123001   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• 液晶表示装置およびアクティブマトリクス基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-220220   出願人：シャープ株式会社