特許
J-GLOBAL ID：200903001889294991
基板表面多層膜の層別分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳原 成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-226438
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045927
出願日： 2001年07月26日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：
【要約】【課題】 基板表面多層膜を各層毎に分析することができる基板表面多層膜の層別分析方法、特に各層毎の不純物の分析に適した基板表面多層膜の層別分析方法を提案する。【解決手段】 少なくとも1層がシリコン膜である2層以上の多層膜が積層された基板において、その表面の多層膜の各層を選択的に溶解する溶解液を用いて表面層から各層を1層ずつ溶解し、この溶解液を各層毎に回収し、基板表面の多層膜を各層毎に分析する方法であって、前記シリコン膜を選択的に溶解する溶解液としてテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイドを含む水溶液を用いる基板表面多層膜の層別分析方法。
請求項（抜粋）：
少なくとも1層がシリコン膜である2層以上の多層膜が積層された基板において、その表面の多層膜の各層を選択的に溶解する溶解液を用いて表面層から各層を1層ずつ溶解し、この溶解液を各層毎に回収し、基板表面の多層膜を各層毎に分析する方法であって、前記シリコン膜を選択的に溶解する溶解液としてテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイドを含む水溶液を用いる基板表面多層膜の層別分析方法。
Fターム (7件)：
4M106AA01
, 4M106AA10
, 4M106AA13
, 4M106BA12
, 4M106CA29
, 4M106DH11
, 4M106DH55
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (7件)
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