加工性に優れた透明導電膜

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：明田莞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-133350
公開番号（公開出願番号）：特開平11-323531
出願日： 1998年05月15日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】低電気抵抗率及び高可視光透過率を有すると共に、エッチングが容易で加工性に優れた透明導電膜を提供する。【解決手段】 Inの酸化物を主成分とする透明導電膜であって、Geを含有して膜の構造が非晶質であることを特徴とするもの。

請求項（抜粋）：

Inの酸化物を主成分とする透明導電膜であって、Geを含有して膜の構造が非晶質であることを特徴とする加工性に優れた透明導電膜。

IPC (3件)：

C23C 14/08 , G02F 1/1343 , H01B 5/14

FI (3件)：

C23C 14/08 D , G02F 1/1343 , H01B 5/14 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

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