感光性樹脂組成物及び積層体

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-019708
公開番号（公開出願番号）：特開2005-215142
出願日： 2004年01月28日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：

【課題】紫外線照射によって露光可能な、アルカリ性水溶液によって現像しうる、感度、解像度等の画像形成性に優れ、溶解性、保存安定性に優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(a)不飽和カルボキシル基を含有する熱可塑性共重合体、(b)付加重合性モノマー、(c)光重合開始剤、及び(d)下記一般式(I)で示されるピラゾリン化合物を含有する感光性樹脂組成物を作成し、それを用いてレジストパターンを形成する。【化1】【選択図】選択図なし。

請求項（抜粋）：

(a)α,β-不飽和カルボキシル基含有単量体を共重合成分として含む、酸当量で100〜600、重量平均分子量が2万〜50万の熱可塑性共重合体:20〜90質量%、(b)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー:5〜75質量%、(c)トリアリールイミダゾリル二量体を含む光重合開始剤:0.01〜30質量%、及び(d)下記一般式(I)

IPC (5件)：

G03F7/004 , G03F7/029 , G03F7/033 , H05K3/06 , H05K3/18

FI (6件)：

G03F7/004 501 , G03F7/004 512 , G03F7/029 , G03F7/033 , H05K3/06 J , H05K3/18 D

Fターム (32件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025CA28 , 2H025CB13 , 2H025CB43 , 2H025CB51 , 2H025CB55 , 2H025CC20 , 2H025FA39 , 5E339BC02 , 5E339BD11 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE11 , 5E339CE14 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339CG04 , 5E339DD04 , 5E343BB24 , 5E343CC63 , 5E343DD32 , 5E343ER16 , 5E343ER18

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平4-223470号公報
特開平4-223470
光線遮蔽剤
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-130228 出願人：株式会社日本化学工業所

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審査官引用 (6件)

特開平4-223470
光線遮蔽剤
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-130228 出願人：株式会社日本化学工業所
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-383306 出願人：旭化成株式会社

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