特許
J-GLOBAL ID：200903001964505529

電気機械変換素子,電気機械変換効果応用素子及びその製造法

発明者：
村松 研一

村松 研一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-308544
公開番号（公開出願番号）：特開平11-145526
出願日： 1997年11月11日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】 従来の薄膜形成技術により薄膜状に圧電体層を弾性体上に形成しようとすると、圧電体層が圧電性を有する温度に加熱されるため、所望の圧電性が得られない。【解決手段】 振動発生体3と,振動発生体3の装着位置に溶射により成膜されるとともに、電気エネルギー及び機械的変位間の相互変換を行う電気機械変換素子5と、振動発生体3と電気機械変換素子5との間に溶射により形成される緩衝層4とを備える電気機械変換効果応用素子7。
請求項（抜粋）：
電気エネルギー及び機械的変位間の相互変換を行うとともに、所定の装着位置に溶射により成膜されてなることを特徴とする電気機械変換素子。
IPC (5件)：
H01L 41/09 ,  C23C 4/08 ,  H01L 41/12 ,  H01L 41/22 ,  H02N 2/00
FI (5件)：
H01L 41/08 C ,  C23C 4/08 ,  H01L 41/12 ,  H02N 2/00 C ,  H01L 41/22 Z
引用特許：
審査官引用 (10件)
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