加速度・角速度検出装置および加速度・角速度検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊 , 野田久登 , 酒井將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-112210
公開番号（公開出願番号）：特開2006-292506
出願日： 2005年04月08日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：

【課題】一つの装置で、加速度と角速度を検出する加速度・角速度検出装置では、まず、加速度による力と角速度による力の合力を求め、その合力から加速度と角速度を求めるが、加速度による力と角速度による力を分離するのに複雑な処理が必要であった。【解決手段】タイミング部17により出力する周波数波形を示す駆動信号の出力値が零近傍になったときに、変位検出部40の検出結果を抽出するためのタイミング信号をサンプリング部13に出力するとともに、該駆動信号の位相を略180度遅らせたタイミングでも、タイミング信号をサンプリング部13に出力する。そして、駆動信号が零近傍になったときに出力されるタイミング信号に基づいて検出された変位検出部40の検出結果と、該駆動信号の位相を略180度遅らせたタイミングで出力されるタイミング信号に基づいて検出された変位検出部40の検出結果を用いて、重錘体3に作用する加速度と角速度を求めるものである。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

XYZ3次元直交座標系の少なくとも1座標軸方向の加速度と、XY平面に含まれる1軸まわりの角速度を検出する加速度・角速度検出装置であって、質量をもった重錘体と、該重錘体の一端に接続され、可撓性をもった材料から構成され、前記重鎮体の振動により撓みが生じる梁と、該梁を支持する支持部と、前記重錘体の重心をZ軸方向にそって振動させる励振部と、前記梁の撓みを電気信号として検出する変位検出部と、該変位検出部の検出結果を所定のタイミングで抽出するサンプリング部と、前記励振部を駆動させるための駆動信号を出力するとともに、前記変位検出部の検出結果を抽出するためのタイミング信号を出力するタイミング部と、前記サンプリング部により抽出された前記変位検出部の検出結果を記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された前記変位検出部の検出結果を用いて、前記重錘体に作用する加速度と角速度を算出する演算部と、を有し、前記タイミング部は、周波数波形を示す駆動信号の出力値が零近傍になったときに、前記変位検出部の検出結果を抽出するためのタイミング信号を前記サンプリング部に出力するとともに、該駆動信号の位相を略90度遅らせた信号の値が零近傍になったときでも、タイミング信号を前記サンプリング部に出力し、前記演算部は、駆動信号の出力値が零近傍になったときに出力されるタイミング信号に基づいて検出された前記変位検出部の検出結果と、該駆動信号の位相を略90度遅らせた値が零近傍になったときに出力されるタイミング信号に基づいて検出された前記変位検出部の検出結果を用いて、前記重錘体に作用する加速度と角速度を算出することを特徴とする加速度・角速度検出装置。

IPC (5件)：

G01P 15/18 , G01C 19/56 , G01P 15/12 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (5件)：

G01P15/00 K , G01C19/56 , G01P15/12 D , G01P9/04 , H01L29/84 A

Fターム (17件)：

2F105AA02 , 2F105AA05 , 2F105AA10 , 2F105BB01 , 2F105BB17 , 2F105CD02 , 2F105CD05 , 2F105CD06 , 2F105CD07 , 4M112AA02 , 4M112BA01 , 4M112CA21 , 4M112CA24 , 4M112CA27 , 4M112CA31 , 4M112CA32 , 4M112FA20

引用特許：

出願人引用 (2件)

加速度と角速度との双方を検出する装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-225894 出願人：岡田和廣
加速度・角速度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-280144 出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (4件)

圧電振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-317842 出願人：株式会社村田製作所
ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-143332 出願人：株式会社村田製作所
加速度と角速度との双方を検出する装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-159196 出願人：株式会社ワコー

全件表示

前のページに戻る