特許
J-GLOBAL ID：200903001974334897

イオントラップ質量分析計を用いた分析装置

発明者：
鍋島 貴之

鍋島 貴之 について

, 
高田 安章

高田 安章 について

, 
坂入 実

坂入 実 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-030027
公開番号（公開出願番号）：特開平10-228881
出願日： 1997年02月14日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 イオントラップ質量分析計を有する質量分析装置において、イオントラップ質量分析計のある室をいったん大気圧にさらした後でも測定再開までに時間を要さず、且つ液滴を含むイオン以外の粒子がイオントラップ質量分析計に直接入り込むことを防ぐことが可能な質量分析装置を提供する。【解決手段】 イオントラップ質量分析計14と検出器11を別個のチャンバ-に配置させ、イオン源2から生成したイオンを第1差動排気部5、第2差動排気部27、さらに検出器11と偏向器10の存在する高真空部である第3差動排気部を通過させた後、イオントラップ質量分析計14の存在する第4室13に導入するという装置構成を採用する。ここで質量分離されたイオンを入射方向と同じ方向に引き出し、第3差動排気部に配置する検出器で検出する。
請求項（抜粋）：
大気圧下におけるプラズマイオン源と、該プラズマイオン源により生成したイオンを偏向器へ導入するための第1差動排気室と、前記第1差動排気室の出口側に隣接した第2排気室と、前記第2排気室に隣接して設けられた前記偏向器を収納した第3差動排気室と、前記第3差動排気室でイオンが偏向され前記第3差動排気室に隣接して設けられた第4室とを有し前記第4室にイオントラップ型質量分析計を具備することを特徴とするイオントラップ質量分析計を用いた分析装置。
IPC (2件)：
H01J 49/42 ,  H01J 49/06
FI (2件)：
H01J 49/42 ,  H01J 49/06
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM