特許
J-GLOBAL ID:200903001996693998
光学式エンコーダ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
横沢 志郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-130761
公開番号(公開出願番号):特開2000-321097
出願日: 1999年05月12日
公開日(公表日): 2000年11月24日
要約:
【要約】【課題】 反射格子および光透過型の格子を用いて、3枚格子の理論に基づき、小型コンパクトで分解能の高い光学式エンコーダを実現すること。【解決手段】 光学式リニアエンコーダ1では、LED2からの光は、半導体移動板3に形成した光透過型の移動格子31を通過した後に反射格子板4の反射格子41で反射される。反射格子像は、半導体移動板3に形成されている格子状のホトダイオード32によって検出される。移動格子31およびホトダイオード32が共通の半導体基板に作り込まれており、しかも、格子状のホトダイオード32によってレンズ効果が得られるのでレンズ光学系が不要となるので、小型でコンパクトなエンコーダを実現できる。また、3枚格子の理論に基づき反射格子と移動格子の間隔の広狭、当該間隔の変動が検出精度に悪影響を及ぼすことがないので、これらの部品の取り付けが簡単になり、また取り付け位置の制約も緩和される。
請求項(抜粋):
光源と、一定ピッチあるいは角度で所定形状の反射格子が複数本形成された反射格子板と、一定ピッチあるいは角度で所定形状の光透過格子が複数本形成された移動格子板と、前記光源から出射され前記光透過格子を透過して前記反射格子で反射された反射光像を受光する受光素子とを有する光学式エンコーダであって、前記光透過格子板および前記受光素子は共通の半導体基板に作り込まれており、前記受光素子は一定ピッチあるいは角度で形成された所定形状の格子であり、各受光素子から得られる検出信号に基づき、前記移動格子および前記反射格子の相対移動方向および速度を検出することを特徴とする光学式エンコーダ。
Fターム (21件):
2F103BA00
, 2F103BA31
, 2F103BA37
, 2F103CA01
, 2F103CA02
, 2F103CA03
, 2F103DA01
, 2F103DA12
, 2F103DA13
, 2F103EA06
, 2F103EA17
, 2F103EA20
, 2F103EB02
, 2F103EB06
, 2F103EB12
, 2F103EB16
, 2F103EB32
, 2F103EB37
, 2F103EC02
, 2F103FA12
, 2F103GA15
引用特許:
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