特許
J-GLOBAL ID：200903002081209462
ダイシング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-122378
公開番号（公開出願番号）：特開2009-099940
出願日： 2008年05月08日
公開日（公表日）： 2009年05月07日
要約：
【課題】 ダイシングの際に発生するコンタミを効率よく除去し、ワークに再付着させない高品質なダイシングを行うダイシング装置を提供すること。【解決手段】 ブレード10の回転方向に対向し且つ加工点Bに向かって開口した吸引口を一端に備え吸引口から排出口に向って拡張するように内部が傾斜した筒状部材13A、及び筒状部材13Aの吸引口近傍に取り付けられ流体を噴射することにより加工後の切削液を吸引し筒状部材13Aの内部に向って排出する1つ以上のノズル14、15を備えたバキュームユニット13により、回転方向へ向かって飛散する切削液が強制的にワークに影響しない離れた場所または装置外へ排出され、コンタミがワークWへの再付着することの無い高品質なダイシングを可能とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
円盤状のブレードと、
前記ブレードを回転させるスピンドルと、
前記スピンドルに設けられ、前記ブレードを覆うカバーと、
前記ブレードにより切削加工されるワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、
前記ワークと前記ブレードとが接触する加工点付近へ切削液を噴射する切削水ノズルと、
前記ブレードの前記加工点における回転方向に対向した方向に導入口を向けて該ブレードの近傍に配置され、流体を噴出口に向けて噴射することにより加工後の切削液を前記導入口より吸引するノズルを一つ以上備えた吸引手段と、を備えたことを特徴とするダイシング装置。
IPC (4件)：
H01L 21/301
, B23Q 11/00
, B24B 55/06
, B24B 55/02
H01L21/78 F
, B23Q11/00 L
, B24B55/06
, B24B55/02 D
3C047FF06
, 3C047FF15
, 3C047HH14
