特許
J-GLOBAL ID：200903002083209664
DLC膜コーティングプラスチック容器の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
今下 勝博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-154700
公開番号（公開出願番号）：特開2003-341673
出願日： 2002年05月28日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：
【要約】【課題】本発明は、容器側電極に対向する口側電極を容器外部に配置することにより、プラズマを安定して着火させ且つ放電を持続させるとともに同時に口側電極のダスト付着を防止することを目的とする。【解決手段】本発明は、プラスチック容器を収容する減圧室の一部を形成する容器側電極とプラスチック容器の開口部上方に配置する口側電極とを減圧室の一部を形成する絶縁体を介して対向させるとともに、プラズマ化してプラスチック容器の内壁面にDLC膜をコーティングするための原料ガスを供給する原料ガス供給手段が減圧室まで供給した原料ガスをプラスチック容器の内部まで導入する絶縁材からなる原料ガス導入管を減圧室に設け、減圧室内のガスをプラスチック容器の開口部上方から排気する排気手段を設け、且つ容器側電極に高周波を供給する高周波供給手段を接続したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
プラスチック容器を収容する減圧室の一部を形成する容器側電極と前記プラスチック容器の開口部上方に配置する口側電極とを減圧室の一部を形成する絶縁体を介して対向させるとともに、プラズマ化して前記プラスチック容器の内壁面にダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜をコーティングするための原料ガスを供給する原料ガス供給手段が前記減圧室まで供給した該原料ガスを前記プラスチック容器の内部まで導入する絶縁材からなる原料ガス導入管を前記減圧室に設け、該減圧室内のガスを前記プラスチック容器の開口部上方から排気する排気手段を設け、且つ前記容器側電極に高周波を供給する高周波供給手段を接続したことを特徴とするDLC膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
IPC (4件)：
B65D 23/02
, B65D 1/09
, C23C 16/27
, C23C 16/505
B65D 23/02 Z
, C23C 16/27
, C23C 16/505
, B65D 1/00 C
3E033AA02
, 3E033BA13
, 3E033BA30
, 3E033BB08
, 3E033CA16
, 3E033DA03
, 3E033DA08
, 3E033DB01
, 3E033DD01
, 3E033EA10
, 3E033GA02
, 3E062AA09
, 3E062AB02
, 3E062AC02
, 3E062JA01
, 3E062JA07
, 3E062JB22
, 3E062JC01
, 3E062JD01
, 4K030AA09
, 4K030BA28
, 4K030CA07
, 4K030CA12
, 4K030CA15
, 4K030EA06
, 4K030FA03
, 4K030KA46
