特許
J-GLOBAL ID:200903002087073546
圧力センサ及び圧力測定装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
若林 広志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-317213
公開番号(公開出願番号):特開平11-218458
出願日: 1998年11月09日
公開日(公表日): 1999年08月10日
要約:
【要約】【課題】 光ファイバを用いて流体の圧力を高精度で安定して検出できるようにする。1本の光ファイバに複数個の圧力センサを直列に接続して複数点の圧力測定を一括して行えるようにする。【解決手段】 長さ方向の一部にFBG(光ファイバブラッグ回折格子)15を形成した光ファイバ13と、圧力の変化をFBG15の伸び歪みの変化に変換する手段5、7、9、11とを備えた圧力センサ1を使用する。圧力センサ1に、前記光ファイバ13に連続光を入射したときのFBG15のブラッグ反射光の波長シフト量を測定する手段を組み合わせる。ブラッグ反射光の波長はFBG15の伸び歪みに応じて変化するので、ブラッグ反射光の波長のシフト量から圧力を測定できる。
請求項(抜粋):
長さ方向の一部にFBG(光ファイバブラッグ回折格子)を形成した光ファイバと、圧力の変化を前記FBGの伸び歪みの変化に変換する手段とを備えていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件):
G01L 11/02
, G01L 1/24
, G02B 6/00
FI (3件):
G01L 11/00 B
, G01L 1/24 A
, G02B 6/00 B
引用特許: