特許

J-GLOBAL ID：200903002148696312

基板処理装置

発明者： 林 昭成 ,  立野 秀人 ,  前田 英彦
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-266998
公開番号（公開出願番号）：特開2004-104011
出願日： 2002年09月12日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】高精度に干渉、衝突を検出でき、又搬送機構の振動等に影響を受けることがなく、未然に衝突等の事故の発生を防止し得る駆動制御システムを具備した基板処理装置を提供する。【解決手段】搬送機構15及び該搬送機構の駆動制御システム24を具備する基板処理装置に於いて、前記駆動制御システムは、前記搬送機構のモータ22の負荷トルクを検出する負荷トルク検出部31と、正常運転時のモータの負荷トルクに基づき得られるトルク制限値を出力するトルク制限値発生部27とを有し、前記モータの負荷トルクがトルク制限値を越えた場合に前記モータを非常停止させる様構成した。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

搬送機構及び該搬送機構の駆動制御システムを具備する基板処理装置に於いて、前記駆動制御システムは、前記搬送機構のモータの負荷トルクを検出する負荷トルク検出部と、正常運転時のモータの負荷トルクに基づき得られるトルク制限値を出力するトルク制限値発生部とを有し、前記モータの負荷トルクがトルク制限値を越えた場合に前記モータを非常停止させる様構成したことを特徴とする基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L21/68 ,  H02P3/06

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  H02P3/06 E

Fターム (23件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA13 ,  5F031GA03 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031JA45 ,  5F031JA51 ,  5F031LA07 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA02 ,  5F031PA20 ,  5H530BB31 ,  5H530CC08 ,  5H530CC20 ,  5H530CD20 ,  5H530CD32

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ロボットの制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-031414   出願人：株式会社安川電機
• 特開平1-310889
  
• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-136027   出願人：テル・バリアン株式会社