特許
J-GLOBAL ID：200903002215504229
基板検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-080952
公開番号（公開出願番号）：特開2004-286669
出願日： 2003年03月24日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：
【課題】回路基板上の電極とコンタクトプローブとの接触圧を確保し、接触不良の発生を確実に防止することができる基板検査装置を提供する。【解決手段】本発明に係る基板検査装置1は、回路基板Wの電極と接触して導通するコンタクトプローブ54と、該コンタクトプローブ54を介して前記回路基板Wの電気的特性を測定する検査用測定回路55と、前記コンタクトプローブ54が立設されたピンボード56と、該ピンボード56を駆動して前記コンタクトプローブ54を前記電極に接触させる駆動機構57,58とを具備している。そして、前記ピンボード56に立設されて前記電極と接触する接触状態検出用ピン2と、該接触状態検出用ピン2及び前記電極間の接触状態の良否を検出する接触検出回路3と、接触不良時には前記駆動機構57,58を駆動して前記ピンボード56の位置を補正する位置制御回路4とを具備している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
回路基板の電極と接触して導通するコンタクトプローブと、該コンタクトプローブを介して前記回路基板の電気的特性を測定する検査用測定回路と、前記コンタクトプローブが立設されたピンボードと、該ピンボードを駆動して前記コンタクトプローブを前記電極に接触させる駆動機構とを具備してなる基板検査装置であって、
前記ピンボードに立設されて前記電極と接触する接触状態検出用ピンと、該接触状態検出用ピン及び前記電極間の接触状態の良否を検出する接触検出回路と、接触不良時には前記駆動機構を駆動して前記ピンボードの位置を補正する位置制御回路とを具備していることを特徴とする基板検査装置。
IPC (3件)：
G01R31/28
, G01R1/06
, H05K3/00
G01R31/28 K
, G01R1/06 E
, H05K3/00 T
2G011AA16
, 2G011AC06
, 2G011AC09
, 2G011AC14
, 2G011AE01
, 2G132AA20
, 2G132AE22
, 2G132AF06
, 2G132AF07
, 2G132AL03
, 2G132AL04
