特許
J-GLOBAL ID：200903002234069169

放射線検出器

発明者：
若松 俊輔

若松 俊輔 について

, 
藤枝 新悦

藤枝 新悦 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について

, 
東芝電子管デバイス株式会社

東芝電子管デバイス株式会社 について


代理人 (2件)： 樺澤 襄 ,  樺澤 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-246007
公開番号（公開出願番号）：特開2007-059798
出願日： 2005年08月26日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：
【課題】高い感度特性および解像度特性が長期間安定したX線検出器を提供する。 【解決手段】X線検出器1のバイアス電極層32上の保護膜33中のエポキシ樹脂層34内に発生する内部応力低減の点から、エポキシ樹脂層34中のエポキシ樹脂の曲げ弾性率を小さくする。保護膜33は形状維持や機械的な損傷を受けない程度の曲げ弾性率が必要である。常温での曲げ弾性率が5GPa付近の保護膜33は、常温での曲げ弾性率が6GPa程度のガラス基板3を破壊してしまう。エポキシ樹脂の常温での曲げ弾性率を5GPa以下する。エポキシ樹脂層34を複数の水分バリア層35で多層化して多層化保護膜とする。水分バリア層35がエポキシ樹脂層34のピンホールなどの欠陥を防止する。保護膜33とバイアス電極層32との界面での水分透過率が大きくならない。 【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電極基板と、 この電極基板上に設けられ電気信号を検出する画素電極と、 この画素電極上に設けられ入射する放射線を電気信号に変換する放射線変換層と、 この放射線変換層上の前記画素電極に対向した位置に設けられた上部電極と、 この上部電極上に設けられ前記電極基板の曲げ弾性率以下の曲げ弾性率を有する保護層と を具備したことを特徴とした放射線検出器。
IPC (4件)：
H01L 27/14 ,  G01T 1/24 ,  G01T 1/20 ,  H01L 31/09
FI (5件)：
H01L27/14 K ,  G01T1/24 ,  G01T1/20 L ,  H01L31/00 A ,  G01T1/20 E
Fターム (45件)：
2G088EE01 ,  2G088EE29 ,  2G088FF02 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ10 ,  2G088JJ35 ,  4M118AA08 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118CA02 ,  4M118CA11 ,  4M118CA15 ,  4M118CB05 ,  4M118CB06 ,  4M118CB11 ,  4M118CB14 ,  4M118FB03 ,  4M118FB09 ,  4M118FB13 ,  4M118FB16 ,  4M118GA10 ,  4M118HA02 ,  4M118HA09 ,  4M118HA24 ,  4M118HA26 ,  5F088AA03 ,  5F088AA20 ,  5F088AB01 ,  5F088AB05 ,  5F088BA11 ,  5F088BA13 ,  5F088BB07 ,  5F088EA04 ,  5F088EA08 ,  5F088FA03 ,  5F088FA04 ,  5F088GA02 ,  5F088HA09 ,  5F088HA12 ,  5F088HA15 ,  5F088LA08
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (3件)

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