特許
J-GLOBAL ID：200903002253581580
試料の物性評価方法及び半導体材料の物性評価装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (8件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-100163
公開番号（公開出願番号）：特開2007-271553
出願日： 2006年03月31日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：
【課題】金属酸化物粒子又は金属硫化物粒子からなる半導体材料の物性、特に結晶欠陥量、結晶化度及び結晶型及び/又は非結晶型からなる構成成分を簡便且つ迅速に、非破壊な手段で評価し得る方法を提供すること、また、該方法の実施に使用するこれら物性の評価装置を提供すること。【解決手段】試料に励起光を照射し、該励起光の照射により発生する特定波長における発光量を測定する試料の物性評価方法であって、評価対象となる物性が既知である基準試料の特定波長における発光量を測定し、前記基準試料の物性と前記測定された発光量との対応関係を予め得ておき、評価対象となる物性が未知である被測定試料の特定波長における発光量を測定し、前記測定された被測定試料の発光量と前記基準試料について得られた対応関係とを比較することにより該被測定試料の物性を評価することを特徴とする、試料の物性評価方法。【選択図】 図2A
請求項（抜粋）：
試料に励起光を照射し、該励起光の照射により発生する特定波長における発光量を測定する試料の物性評価方法であって、評価対象となる物性が既知である基準試料の特定波長における発光量を測定し、前記基準試料の物性と前記測定された発光量との対応関係を予め得ておき、評価対象となる物性が未知である被測定試料の特定波長における発光量を測定し、前記測定された被測定試料の発光量と前記基準試料について得られた対応関係とを比較することにより該被測定試料の物性を評価することを特徴とする、試料の物性評価方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
2G043AA03
, 2G043CA05
, 2G043CA06
, 2G043DA08
, 2G043EA01
, 2G043FA06
, 2G043GA07
, 2G043GA08
, 2G043GB07
, 2G043GB21
, 2G043JA03
, 2G043KA01
, 2G043KA02
, 2G043KA03
, 2G043KA05
, 2G043KA09
, 2G043LA01
