電子ビーム物理蒸着装置及びその制御パネル

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本研一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-515347
公開番号（公開出願番号）：特表2003-522291
出願日： 2000年08月03日
公開日（公表日）： 2003年07月22日
要約：

【要約】【課題】物品(20)に皮膜を設けるための電子ビーム物理蒸着装置(10)。【解決手段】本発明の装置(10)は、通常、高温及び大気圧未満の圧力で作動可能なコーティングチャンバ(12)を含んでいる。電子ビームガン(30)が、コーティングチャンバ(12)中に、そしてチャンバ(12)内のコーティング材料(26)に電子ビーム(28)を投射し、コーティング材料(26)を融解し蒸発させる。このEBPVD装置(10)の作動は、装置(10)の部品をモニターし制御することができる制御パネル(118)によって高められる。制御パネル(118)は、装置(10)とその部品及び部品の標識(120)の概略図と、標識(120)と関連して部品の作動状態を示す可視インジケータと、可視インジケータに隣接しており標識(120)と関連してEBPVD装置(10)の対応する部品の作動を変化させる制御部(124)とを含んでいる。

請求項（抜粋）：

電子ビーム物理蒸着コーティング装置(10)であって、この電子ビーム物理蒸着コーティング装置(10)を制御しモニターするための制御パネル(118)を含んでおり、この制御パネル(118)が、電子ビーム物理蒸着コーティング装置(10)とその部品の少なくとも一部の概略図であって、電子ビーム物理蒸着コーティング装置(10)の部品の少なくとも幾つかを表す標識(120)を含む概略図と、部品の標識(120)に隣接して概略図上に位置する複数の可視表示(122)であって、各々が隣接する標識(120)で表される部品の作動状態を示す可視表示(122)と、部品の標識(120)に隣接し、かつ可視表示(122)に隣接して概略図上に位置する複数の制御部(124)であって、各々が隣接する標識(120)で表される部品の作動を調節するように作動可能である、制御部(124)とを含んでなる、電子ビーム物理蒸着コーティング装置(10)。

IPC (3件)：

C23C 14/30 , F01D 25/00 , F02C 7/00

FI (4件)：

C23C 14/30 A , F01D 25/00 L , F02C 7/00 C , F02C 7/00 D

Fターム (9件)：

4K029AA02 , 4K029BA43 , 4K029BA50 , 4K029BD00 , 4K029BD03 , 4K029CA02 , 4K029DB21 , 4K029EA03 , 4K029EA08

引用特許：

審査官引用 (4件)

光学薄膜製造システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-061871 出願人：旭光学工業株式会社
プラント監視表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-329536 出願人：株式会社東芝
プラント監視画面作成方法、プラント監視画面作成装置、プラント監視方法、プラント監視装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-159961 出願人：株式会社日立製作所

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