特許
J-GLOBAL ID：200903002281094481
プリカット方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-336011
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176772
出願日： 1997年12月05日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】【課題】 切り始めの段階で回転ブレードに掛かる負荷を軽減し、刃部にダメージを与えないようにしたプリカット方法を提供する。【解決手段】 回転ブレードの切り込み深さを徐々に増大させるか、又は回転ブレードの切削送り速度を徐々に増大させるか、或はその両方を組み合わせてプリカットを遂行する。ダミーとなるプリカット基板は、被加工物と同質のものを用いる。被加工物がシリコンで形成されている場合は、プリカット基板もそれに合わせてシリコンで形成されたものを用いる。ダイシング装置で切削加工する場合は、回転ブレードはダイシングブレードとする。
請求項（抜粋）：
被加工物の切削加工に先立ち、回転ブレードの切削能力を安定させるために遂行されるプリカット方法において、回転ブレードの切り込み深さを徐々に増大させ、プリカット基板を切削してプリカットを遂行するプリカット方法。
引用特許：
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