特許
J-GLOBAL ID：200903002283858888

大気圧イオン化質量分析方法および装置

発明者：
中野 和男

中野 和男 について

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但馬 武

但馬 武 について

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蓮見 啓二

蓮見 啓二 について


出願人/特許権者：
日立東京エレクトロニクス株式会社

日立東京エレクトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-094085
公開番号（公開出願番号）：特開平11-273615
出願日： 1998年03月23日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 空気中のNOxを高感度に検出し定量する。【解決手段】 イオン発生部15に一次イオン発生用Arガス1が導入され、針電極19でイオン化されてNOxを含まない一次イオンが生成される。一次イオンは一次イオン発生用ガスと共に混合部30に導入され、試料ガス2である乾燥空気と混合される。混合部30で乾燥空気は一次イオンによるイオン-分子反応でイオン化される。イオン化された試料ガス2は質量分析部11に導入され分析される。【効果】 空気に含まれたNOxのイオン分析に際し、空気成分中のO2 、N2のイオン化でNOxが生成されてしまう場合でも、予め発生させた一次イオンを混合部に供給して空気をイオン化させることでNOxの生成を防止できるため、空気に含まれた微量のNOxを高感度に分析できる。
請求項（抜粋）：
イオン発生部に一次イオン発生用ガスを供給して一次イオンを予め発生させ、この一次イオンをイオン発生部から混合部に供給し、混合部においてこの一次イオンと混合部に供給された試料ガスとを混合させて試料ガスをイオン化させ、イオン化された試料ガスのうちの分析目的物質を分析することを特徴とする大気圧イオン化質量分析方法。
IPC (3件)：
H01J 49/10 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/04
FI (3件)：
H01J 49/10 ,  G01N 27/62 G ,  H01J 49/04
引用特許：
審査官引用 (3件)

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