特許
J-GLOBAL ID:200903002288428695
電子ビーム電流検出器を備えた電子ビーム装置および電子ビーム露光装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
石田 敬
, 鶴田 準一
, 小林 龍
, 西山 雅也
, 樋口 外治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-308164
公開番号(公開出願番号):特開2004-146146
出願日: 2002年10月23日
公開日(公表日): 2004年05月20日
要約:
【課題】電子ビーム装置のスループットに影響を与えずに、電子ビ試料に照射する電子ビーム電流を直接検出して高精度のビーム電流検出を行うことができる電子ビーム装置を提供する。【解決手段】電子ビーム源203から生じた電子ビームを検出する電流検出手段211をアパチャ204の後方に設け、電流検出手段211は、移動ステージ206とは独立して移動可能な支持手段212によって支持されており、電流計測時には電流検出手段211がビーム光軸直下に位置し、それ以外のときは退避位置214に位置するよう構成した。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
電子ビーム光源から見てビーム絞り手段の後方に、試料移動ステージと独立して移動可能な支持手段により、電子ビームの電流値を検知する電流検出器を備える電子ビーム装置。
IPC (4件):
H01J37/04
, G03F7/20
, H01J37/305
, H01L21/027
FI (5件):
H01J37/04 A
, G03F7/20 504
, H01J37/305 B
, H01L21/30 541E
, H01L21/30 541S
Fターム (11件):
2H097AA03
, 2H097AB09
, 2H097BA10
, 2H097CA16
, 2H097GA45
, 5C030AA01
, 5C030AB03
, 5C034BB06
, 5C034BB10
, 5F056BA01
, 5F056BB03
引用特許:
審査官引用 (6件)
-
荷電粒子ビーム装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-015699
出願人:株式会社日立製作所
-
走査電子顕微鏡および類似の装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-172283
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
-
電子顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-200776
出願人:株式会社日立製作所
-
走査電子顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-248395
出願人:日本電子株式会社
-
特開平4-087244
-
特開平4-087244
全件表示
前のページに戻る